氦质谱检漏仪
检漏灵敏度高，可以检漏到10-11Pam3/s 数量级，仪器响应快，氦分子在仪器高真空的环境中扩散的速度很高;所以氦质谱检漏仪在许多领域里得到广泛的应用，例如，在航空航天领域里宇宙飞船、航天飞机、火箭、、飞机等这些都要用到真空检漏技术。采用全自动液晶触摸彩屏显示，实现智能自动化，操作更方便，简单可靠。在一般工业领域里原子能、发电厂、配电站、合成氨的氮肥生产厂、汽车制造业、造船工业、制冷工业、冶金工业、输气管道、气罐、油罐、锅炉快餐食品包装等都离不开检漏问题，同样在装备中也离不开检漏，弹体、燃料储备罐、燃料运输管道、、特殊部件的密封性都要用到氦质谱检漏仪，本文主要真对氦质谱检漏仪原理及方法进行综述。
氦质谱检漏仪
氦质谱检漏仪因具备检测灵敏度高、反应速度快、定位定量准确等优点而被广泛应用于压力容器、航空航天、原子能、发电厂、制冷工业等领域。系统自动记录、存储抽真空、充氦、氦检过程中的工件和真空箱的压力变化情况。检漏仪在使用过程中，往往会因为产生的一些故障或是现象，而影响检漏工作的正常进度，若对其置之不理还会危及检漏仪的使用寿命。其中的有些故障或现象是使用者能够及时解决或避免的，掌握和了解氦质谱检漏仪常见故障的维修技术，有利于检漏工作的顺利开展以及设备的保养。
氦检漏设备
氦罩法
在这种方法中，用塑料薄膜包裹被测容器，首先除去罩子中的空气，然后充入氦气或氦气混合气体，检漏仪与被测容器的内部连接，当检漏仪显示泄漏率时，指示泄漏。这个泄漏率称为总泄漏率。然后需方收到设备后应及时对设备进行验收，以免延期因保管出现的产品质量问题。总泄漏率是所有泄漏率的总和。如果总泄漏率不超过标准值，则每个泄漏率不超过标准值；如果总泄漏率超过标准值，检查每个点的泄漏率是否超过标准值。然后调整修改超过标准值的泄漏孔，直至达到合格标准。
氦检漏设备
密封器件的氦质谱细检漏技术细分为压氦法(即背压法) 和预充氦法两种。D A Howl 等首先给出了压氦法测量漏率Re 与等效标准漏率L 的关系，并指出该关系对应的气流状态为分子流，文献指出将压氦法测量漏率与等效标准漏率关系式中个括号删掉，就得到预充氦法的相应关系式。氦检测精度要求：由于不同生产企业对产品的检测要求不尽相同，但一般都会遵循行业标准，或比行业标准要求稍高。无论是压氦法还是预充氦法，在公式推导中都假定候检期间环境大气中不存在氦分压。然而，实际上地球干洁大气中含有少量氦气；压氦时通常会产生检漏用氦气对环境大气的污染，使环境氦分压超过地球干洁大气中的氦分压。因此，推导和分析环境大气中氦分压对压氦法和预充氦法的影响是十分必要的。