当化学物质通过吸收能量(如热能、光子能量等)，可以使自身的化学性质变得更加活跃甚至被裂解。当吸收的能量大于化学键键能，即可使得化学键断裂，形成游离的带有能量的原子或基团。当波段内的真空紫外线(波长范围内184。9nm-253。7nm)，促使有机废气物质通过吸收该波段的光子，而该波段的光子能量大于绝大多数的化学键键能，使得有机物质得以裂解;再通过裂解产生的臭氧将其氧化成简单、无害、稳定的物质，如H2O和CO2等。
工业废气处理设备有哪些，废气治理的方法多种多样，按照废气的物理状态的不同，可以分为颗粒状污染物的治理及气态污染物的治理。(1)利用各种除尘设备去除和各种工业粉尘。颗粒状污染物的治理技术有：重力除尘技术、惯性力除尘技术、离心力除尘技术、湿式除尘技术、袋式除尘技术、电除尘法等等。(2)采用气体吸收塔以及其他物理化学的方法处理气态的大气污染物。气态污染物的治理技术有：吸收法、吸附法、催化净化法、燃烧净化法，冷凝净化法等等。(3)基本原则：、城市建设和工厂选址，要做到统筹规划，合理布局。第二、改进燃烧方式，使用清洁能源。第三、植树造林，净化环境。第四、减少流动源的废气排放。第五、在城市逐步实行集中供热。第六、推广清洁化生产工艺。
废气处理设备环保设备主要是指运用不同工艺技术，通过回收或去除、减少排放尾气的有害成分，达到保护环境、净化空气的一种环保设备，让我们的环境不受到污染。低温等离子废气处理设备低温等离子是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。
变压吸附分离净化废气处理设备，该设备是通过气体成分可吸附在固体材料上的特性，改变气体的压力，让废气处于分离净化装置中，通过压力变化完成气体的吸附、分离、净化处理。燃烧法：分为直接燃烧法和催化燃烧法。在高温下恶臭物质与燃料气充分混和，实现完全燃烧。废气处理设备适用于处理高浓度、小气量的可燃性气体。优点：净化，恶臭物质被氧化分解直接排出。选择环保设备：冷凝法：将废气温度降低，使有害物质冷凝，凝结并与废气分开，达到净化的目的。