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瓦里安Varian Turbo-V300HT涡轮分子泵采用免维护的陶瓷轴承, 无油,***, 平均无故障时间大大增加
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瓦里安分子泵总体安装注意事项
①、安装前应检查分子泵运输中是否被损坏。
②、打开泵高真空端法兰盖板,Agilent TV301修理销售,戴好手套,拨动涡轮转子,应转动灵活,无异常现象。
③、安装环境应符合技术要求和真空卫生要求。
④、确认防护网已安装,特殊情况下定做特殊防护网。
⑤、确认已装入润滑油。
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Varian TV 301 Navigator涡轮增压泵维修,VARIAN分子泵一体化转子 瓦里安的***切割工具以及 EDM 工艺,结和完善的 CAD/CAM 制造手段,可将一块高科技含量的铝合金原材料加工成为整体型转子。
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Varian TV 301 Navigator涡轮增压泵产品图
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TV 301导航器不含污染物,因此适用于需要“清洁”真空的应用。它配备有辅助连接器,以提供一个附加的风扇,以控制排气阀,该风扇通过通过串行线(RS232或RS485)连接的主机从远程站点进行控制。TV 301 Tubro泵有四种型号,仅高真空法兰有所不同。该泵由一个高频电动机组成,该电动机驱动装有8个叶片级和3个Macrotorr级的涡轮机。从高真空法兰端看时,涡轮沿逆时针方向旋转。该涡轮机由高强度铝合金制成,并由一个整体加工而成。Macrotorr阶段为四个光盘的形式。涡轮转子由永jiu润滑的高精度陶瓷球轴承支撑,该轴承安装在泵的前排侧。定子的静叶片由不锈钢制成。这些由垫片环支撑并精que定位。Macrotorr定子采用自定位的机加工盘形式,具有泵送通道和受相应转子盘限制的开口。这些由铝合金制成。
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涡轮分子泵的转子叶片具有特定的形状,在它以20000~30000r/min的高速旋转的同时,叶片将动量传给气体分子。叶片高速旋转,其周边的线速度一般200~300m/s,相当于空气分子平均速率的一半。为了获得高真空,涡轮分子泵中装有多级。上级叶片输送过来的气体分子又会收到下级叶片的作用继续被压缩到更下级。因此,涡轮分子泵的的一个特点是对一般气体的抽出极为有效。例如对于氮气,其压缩比可以达到109 但是涡轮分子泵抽除分子质量较小的气体能力较差,例如氢气,其压缩比仅有103 。